×
2023
2D Materials in the BEOL.
[DOI]
C. H. Naylor
,
Kirby Maxey
,
C. Jezewski
,
K. P. O'Brien
,
A. V. Penumatcha
,
M. S. Kavrik
,
B. Agrawal
,
C. V. Littlefield
,
J. Lux
,
B. Barley
,
Justin R. Weber
,
A. Sen Gupta
,
C. J. Dorow
,
N. Arefin
,
S. King
,
R. Chebiam
,
J. Plombon
,
S. B. Clendenning
,
U. E. Avci
,
Mauro J. Kobrinsky
,
M. Metz
Proceedings of the 2023 IEEE Symposium on VLSI Technology and Circuits (VLSI Technology and Circuits), 2023