Backside Power Distribution for Nanosheet Technologies Beyond 2nm.
,
,
,
,
,
,
,
,
,
,
,
,
,
,
,
,
,
,
,
,
,
,
,
,
,
,
,
,
,
,
,
,
,
,
,
,
,
,
,
,
,
,
,
,
,
,
,
,
,
,
,
,
,
,
Proceedings of the IEEE Symposium on VLSI Technology and Circuits 2024, 2024